提升光刻机制造质量面临的挑战

　　光刻机是是制造芯片的核心装备。我国在提升光刻机制造质量上面临着哪些挑战？中国工程院院士、哈尔滨工业大学教授谭久彬带你走近《提升光刻机制造质量面临的挑战》。