• 上海计量技术创新成果荣获国家科技进步奖
    一等奖
  • 发布时间:2026-07-16 11:02     信息来源:中国市场监管报

7月15日从上海市市场监管局获悉,由上海市提名、同济大学牵头完成的《量子化光晶格常数的纳米计量关键技术及集成电路应用》项目,荣获2025年度国家科学技术进步奖一等奖。这是上海计量科技领域获得的最高荣誉。
  纳米计量是集成电路等先进纳米制造产业的“标尺”,是保障芯片制造可靠性的质量基础和关键共性技术。项目团队历经20余年攻关,发明了具有完全自主知识产权的量子化光晶格常数纳米计量新技术。项目共建立国家一级标准物质5项(含中国首个纳米尺度下的角度标准物质),参与研制我国首批高端仪器装备计量测评装置,为集成电路等纳米制造领域提供了校准和标定用的“精准标尺”。
  据介绍,2024年1月,经市场监管总局批准,以同济大学为承建主体的“国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心(上海)”正式筹建,成为全国集成电路领域首批建设的3家国家产业计量测试中心之一。获批筹建后,上海市市场监管局支持该中心加快提升计量服务能力,加强产业专用计量测试技术、方法和设备的研究,为集成电路微纳检测设备企业提供“全产业链、全溯源链、全生命周期、有前瞻性”的计量测试服务;指导、审批该中心新建晶圆级国家二级标准物质3项,协调推动中心牵头制定国家和地方计量技术规范2项,组织“揭榜挂帅”等形式供需对接促进计量技术转化应用,持续健全产业计量测试服务体系。
  近年来,上海围绕现代化产业体系建设,持续加强计量服务产业能力。截至目前,已在核电仪器仪表、商用飞机、智能网联汽车、民用航空发动机、海洋动力装备、集成电路微纳检测设备等重点产业领域建立、筹建了6家国家产业计量测试中心及9家市级中心。